三氯氢硅是一种无机化合物 , 化学式为SiHCl3 。
制备
【三氯氢硅属于什么物 三氯氢硅属于什么物质】经干燥的硅粉在氯化沸腾炉中与干燥氯化氢气体在340°C下进行反应 , 生成的粗三氯氢硅经湿法除尘器、列管冷凝器去蒸馏塔分离四氯化硅 , 再经冷凝 , 得成品 。利用硅铁和HCl的反应也可以得到产物 。
用途
用作有机硅化合物的原料 , 也是生产多晶硅的基本原料 。
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