无论控制精度还是工作效率 ， 我国的这种技术都与国外先进技术有明显差距 。
三
守得云开见月明的“执着”
自2013年以来 ， 华卓精科就一直致力于研究高精度的双工作台系统 ， 想要在工作台系统上实现中国光刻机技术的赶超 。
在之后的几年里 ， 该公司实现了超精密位移测量技术、超精密机电系统设计技术、超精密控制技术等核心技术的突破 ， 这些技术的成功突破 ， 奠定了我国双工作台研发的技术基础 。
2016年 ， 在清华大学机械工程系教授朱煜牵头下 ， 中国光刻机核心零部件顶级供应商华卓精科公司的光刻机双工作台通过国家科技重大专项（02专项）的项目验收 。
这一突破 ， 意味着中国成为了世界上第二家掌握双工作台核心技术的国家 。
目前荷兰的ASML是全球最大的光刻机制造商 ， 按照销售额来计算 ， ASML占据了全球光刻机市场将近90%的市场份额 ， 尤其是在高端的极紫外光领域 ， ASML几乎处于垄断地位 。 他们一台极紫外光光刻机的售价高达1亿欧元 。 极紫光光刻机是实现5nm是更为先进的制程工艺的关键 。
我国的这项双工作台光刻机技术 ， 完美的打破了荷兰ASML在这项技术上的垄断 。
据官网介绍 ， 北京华卓精科科技股份有限公司的主营业务是超精密测控装备整机以及核心部件、光刻机双工作台等内容 。 同时 ， 华卓精科也是国内首家可自主研发并进行一体化销售的光刻机双工作台供应商 。
这项技术的突破 ， 将为我国自主研发65nm至28nm双工作台式光刻机奠定技术基础 。
【光刻机|中国突破一项光刻机核心技术，打破荷兰垄断，国产光刻机未来可期】官网产品展示中显示该项技术可“满足纳米级精度尺度”的产品定制需求 ， 适用于OLED无掩模激光光刻、激光直写光刻、光刻机等高端制造行业 。
同时 ， 招股书上显示 ， 华卓精科还对上述技术进行了进一步纵向延伸 ， 突破了现在业内先进的6自由度磁浮微动台技术 ， 使其运动精度优于2nm ， 这一举措完美地提高了双工件台的分辨率 。
因为这项技术 ， 华卓精科在准备在科创板上市之后 ， 受到了各大媒体的广泛报道 ， 并被不少媒体都称之为“光刻机概念第一股”或者“光刻机第一股” 。
但一切进展得并没有那么顺利！
对于这项双工作台技术 ， 目前国内的质疑声从未停止！
在华卓精科实现双工作台技术的攻关之后 ， 就开始调动各种资金为在科创板上市做准备 ， 但此前在科创版上市委2021年第51次审议会议上 ， 华卓精科被当庭决定“暂缓审议” ， 在上市委现场问询中 ， 据对华卓精科的双工作台产业化前景提出了质疑 。
答案很明确 ， 如果华卓精科下游客户未能按计划实现产业化 ， 那“光刻机双工作台”就可能存在可持续性风险 。
此后 ， 华卓精科的科创版招股说明书中也表示 ， 目前华卓精科的“精密运动系统”已经完成规模化量产 ， 静电卡盘实现小规模量产 ， 晶圆级键合设备仅仅出货一台……在说明书中 ， 没有出现关于“光刻机双工作台”系统的量产销售的信息 。
但最受质疑的就是 ， 华卓精科三年时间内累计获得了7.27亿元的政府补贴 ， 补贴额多达公司总营收的两倍之多 。
2018-2020年度 ， 华卓精科的累计营收不到3.59亿元 ， 净利润仅4842.43万元 ， 但与此同时 ， 华卓精科收到的政府补助为13931.25万元 。
网友们的关注点就集中于：那么大的资金投入 ， 但好像成效微乎其微 ， 甚至无法实现量产 。
因此 ， 对于华卓精科这项“光刻机双工作台”技术的应用 ， 大多数网友的态度一直颇为悲观 。
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