|柔性电子产品的激光传输、打印和组装技术（2）( 四 )
然而 ， 由于激光注量过大而产生的过量气体产物会导致薄膜翘曲或断裂 。 在激光烧蚀过程中 ， 固体PI转化为初级气体产物 ， 导致体积突然膨胀并伴随冲击波 ， 这对于超薄PI薄膜来说是难以承受的 。 为了测量这种机械冲击波产生的冲击力进行了实验 ， 冲击力应低于薄膜结构的损伤阈值 。 发现低激光注量（<100 mJ cm?2308 nm XeCl准分子激光器）大大降低了超薄层（<5μm）的冲击力 。 还研究了激光注量和扫描速率对分层PI膜变形的影响 。 为了评估分层膜的变形 ， 测量了LLO后分层PI膜产生的凸起气泡的高度 。
结果表明 ， PI薄膜的起皱是由于气体产物的冲击作用导致薄膜发生塑性变形所致 。 这些发现进一步证实了气体产物在这种过程中的重要作用 。 基于低能激光脉冲多次照射的多次扫描策略被证明是实现超薄PI薄膜可靠LLO工艺的有效方法 。 如图6d所示 ， 从玻璃基板上释放后 ， 在超薄PI膜（2μm）上制备了柔性应变传感器 ， 没有任何损伤和褶皱 。 尽管电阻应变传感器对设备本身的变形高度敏感 ， 但发现LLO后柔性应变传感器两个电极之间的电阻变化有限（小于5%） 。 这表明 ， 这种LLO工艺为实现大面积超薄柔性电子器件提供了一条有吸引力的途径 。
来源：Laser Transfer Printing and Assembly Techniques for Flexible Electronics ， Advanced Electronic Materials DOI: 10.1002/aelm.201800900
【|柔性电子产品的激光传输、打印和组装技术（2）】参考文献：J. A. Rogers T. Someya Y. Huang Science 2010 327 1603.；S. Choi H.Lee R. Ghaffari T. Hyeon D. H. Kim Adv. Mater. 2016 28 4203.
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