索尼|索尼:基于氮化镓的蓝绿光VCSEL,有望加速AR眼镜普及( 二 )





除此之外 , VCSEL也可以提升AR/VR视网膜显示的安全性 。 当VCSEL在大功率情况下运行时 , 它可以限制光线的输出功率 , 因此在视网膜投影等光学方案中 , VCSEL可以限制显示屏的亮度 , 避免光线伤害视网膜 。
特殊的“曲面镜”结构
那么从原理和结构来看 , 索尼研发的VCSEL方案到底有哪些独特之处?
据青亭网了解 , 通常近红外(波长区域在800到1000纳米之间)VCSEL模组采用砷化镓(GaAs)基底 , 而索尼的VCSEL基于氮化镓(GaN)材质 , 结构则采用“曲面镜”设计 , 不仅可以将光线集中在中心 , 还可以通过离子注入技术来集中电流 。
【索尼|索尼:基于氮化镓的蓝绿光VCSEL,有望加速AR眼镜普及】


索尼指出 , 提升VCSEL方案的性能 , 需要满足三个条件:1)反射镜需要具备高反射率、高散热效率、高导电性;2)有源层可输出大量光线;3)高效的光学结构 , 可将光线和电集中到设备的中心部位 。



实际上 , 红外VCSEL的砷化镓基底具有晶体外延生长特性 , 可满足上述三个条件 , 其结构可以将光和电有效集中到设备中心(光学元件中心未氧化 , 具有透镜效果 , 用于集中光线 , 而氧化部分绝缘 , 因此电流也可以集中在中心部分) 。
尽管如此 , 基于砷化镓的VCSEL难以显示完整的RGB可见光 , 因此索尼在VCSEL结构中采用了氮化镓基底(通常用于蓝、绿色光源) 。 索尼表示:我们已经具备制造高性能氮化镓发光层的工艺 , 这是此前研发蓝光半导体激光技术时获得的经验 。



在2015年时 , 索尼就首次展示基于氮化镓的VCSEL方案 , 当时其VCSEL结构中采用了平面镜 。 索尼发现 , 平面镜很难通过限制光束来提升效率 , 于是在2016年时 , 决定采用透镜外观的曲面镜 , 取代原来的平面反光镜 , 曲面镜的特性可以更好的将光线集中在设备中心 , 这与此前的VCSEL结构有很大不同 。



索尼表示:采用曲面镜的灵感来自于实验室中常用的工具——光纤 。 我们知道 , 光纤是一种由玻璃或塑料制成的纤维 , 光在纤维中以全反射的形式进行传播 。 当具有渐变折射率(GI)的光纤 , 其折射率以抛物线分布时 , 它不仅可以传导光线 , 还可以将光反射回光纤的核心 , 也就是说光纤弯曲时也可以防止漏光 。
于是 , 为了模拟渐变折射率光纤的光学特点 , 索尼在VCSEL结构中也采用抛物透镜作为反光镜 。 据悉 , 利用多年来积累的技术经验 , 索尼的成像传感团队帮助研发团队一起 , 在硅基晶圆上制造VCSEL半导体的透镜 。



图中的近红外VCSEL结构:有源层(active layer)位于两个反射镜之间 , 这两个反射镜的反射率可达99%或以上 , 通常又称为分布式布拉格反射镜 , 它们由各种不同折射率的材料交叠而成 。 当有源层发射的光线在两个反射镜之间来回反射时 , 会产生激光共振 。
用于可穿戴设备和定位系统
索尼预计 , 未来如果蓝光、绿光VCSEL技术投入使用 , 其应用场景将包括高亮度投影仪、AR/VR眼镜等设备的显示系统 , 或是应用于照明、机械加工、医疗保健等更多样化领域 。 随着可见光VCSEL的应用 , 也极有可能促进智能眼镜的普及 。



此外 , 优化的VCSEL技术也有望进一步提升GPS等定位系统的准确性 , 比如紫外光VCSEL可用于高精度地面时钟 , 将GPS定位(因时间差减少)的精度可从几米提升至至几毫米 。 参考:索尼

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