文章图片
文章图片
文章图片
【光刻机|外媒：国产光刻机提前了？】芯片能够一直向微缩方向前进 ， 5nm工艺量产后 ， 还能继续向3 nm、2 nm发展 ， 光刻机功不可没 。 尤其是EUV光刻机 ， 更是高端制程芯片制程中最关键的核心设备 。
可以说 ， 光刻机决定了芯片工艺的技术水平 。 我们要在芯片上不被卡脖子 ， 就必须突破光刻机 。 其实 ， 相关机构也一直在努力 ， 近日又传来了国产沉浸式光刻机消息 。
光刻机按光源来分 ， 主要有极紫外EUV、深紫外DUV和紫外UV三类 ， 基本就是高端、中端和低端 。 低端的i线和g线等光刻机我们已经实现国产 ， 高端EUV也在努力 。
目前 ， 国产光刻机还处于DUV阶段 。 而DUV光刻机也分三类 ， 即KrF、ArF、ArFi 。 前两种已经突破 ， 国产最高可做到90nm ， 可满足国内重要机构使用 ， 不受国外限制 。
那么 ， 现在我们正在努力的就是ArFi光刻机 ，多出的这个i代表加入了沉浸式技术 。
这个技术相当了不得 ， 这是ASML能够超过原来的光刻机巨头尼康和佳能的关键 。 当时光刻机最高做到193nm波长 ， 也就是ArF光刻机 ， 再往下突破就遇到了瓶颈 。
尼康和佳能当时坚持继续原来的干式技术 ， 而此时台积电专家林本坚提出了一种沉浸式技术 ， 即通过水为介质实现更短波长 ， 即湿式技术 ， 但尼康和佳能根本没理会 。
而当时还较弱的ASML却大胆采用了这技术 ， 从此实现超越 ， 获得了较大的市场 。
因此 ， ArFi沉浸式光刻机是个关键节点 。 一旦能够实现突破 ， 那么就等于迈进了DUV光刻机中的高端行列 ， 尽管只是入门级别 ， 但再往下更新迭代 ， 就会非常容易了 。
那么 ， 目前国产沉浸式光刻机的研发进展如何呢？之前有消息表示 ， 将于今年年底前交付 。 最近又有相关媒体爆料 ， 国产沉浸式光刻机已实现突破 ， 将会很快到来 。
对此 ， 有外媒表示 ， 不是年底前吗 ， 难道提前了？具体情况会不会真的如此呢？
首先 ， 国产核心部件陆续突破ArFi沉浸式光刻机最关键的就是这个沉浸式技术 ， ArF波长为193nm ， 加入沉浸式技术后就可以达到134 nm ， 波长越短光刻机就越先进 ， 比如EUV波长是13.5 nm 。
近日好消息传来 ， 中企在浸液控制系统上取得了重大突破 。 浸液系统是浸没式光刻机的四大核心部件之一 ， 这就解决了国产ArFi沉浸式光刻机的几大核心技术之一 。
还有双工件台、曝光光学系统、投影物镜等也都已突破 ， 目前应该是在合围磨合 。
其次 ， ASML行动有相关征兆对于国产先进光刻机的进展 ， 恐怕ASML了解的更透彻 ， 毕竟人家才是专业的 。 因此 ， 从ASML的近期行动 ， 我们可以看出征兆 。 对于国产光刻机 ， 已改口不是不可能 。
最近有个大的变化就是 ， 今年第一季度 ， 我们大陆成了ASML的第一大出货地 ， 占比高达34% 。 这说明 ， ASML在有意向大陆加大光刻机出货量 ， 这极有可能在倾销 。
相关经验推荐
- 操作系统|统信软件：打造国产桌面操作系统“根技术”，如今进展如何？
- 索尼|65英寸4GB内存游戏电视排行榜：索尼只能排第2，国产榜首让人意外
- 荣耀|国产市场诞生“新黑马”，66W快充+256GB，仅2699元好评率高达98%
- 三星|18台EUV？三星高层两赴ASML，外媒：台积电笑了
- 华为|国产机也有高端，这3款“天花板”很难挑出毛病，关键比苹果便宜
- 成交额|事关国产操作系统，华为正式宣布，外媒：这是要与谷歌划清界限！
- MacBook Pro|华为麒麟后继有芯！搭载跳票两年的5G国产芯片新机发布：性能不俗
- oppo reno|开学新装备！学生买手机应该看重这些要素，这台3K国产手机全满足
- 宏碁|毕业季换新机怎么选？看看这款国产5G手机，综合体验很出众
- 小米科技|小米有品上架国产电动剃须刀，三分钟销量破万，价格89元，超值！