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\">一颗智能手机的SOC芯片只有指甲盖大小 , 看起来毫不起眼 。 但是想要造出一颗高端芯片 , 背后至少是百亿美元级别的投资 , 从研发到生产落地 , 再到上市销售 , 需要经历一系列的流程 。
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而在芯片制造过程中 , 涉及到各种各样的材料更是数量繁多 。 而国内科研人员攻坚克难 , 终于在光刻胶方面实现破冰 , 研制出“光敏聚酰亚胺光刻胶” 。
这是怎样的光刻胶产品呢?国产光刻胶处于什么水平?
国产光刻胶破冰光刻胶对于芯片制造的成本并不是很高 , 和光刻机 , 刻蚀机等半导体设备相比 , 光刻胶的成本占光刻工艺不到一成的成本 。
可是如果没有光刻胶 , 光刻胶曝光的图形便无法显影的晶圆表面 , 刻蚀机更加无法进行芯片线路的刻蚀 。 因为光刻胶可以起到保护衬底 , 形成曝光图形的媒介作用 。
但是光刻胶技术主要掌握在日本手中 , 相关的产业链被日本所垄断 。 不管是低端的g线 , i线光刻胶 , 还是高端的EUV光刻胶 , 日本企业提供的产品均位居一线水准 , 被台积电 , 三星等争相采购 。
国内发展芯片制造同样离不开对外进口光刻胶 , 为了实现自主产业链的持续发展 , 攻克光刻胶核心技术是件要紧事 。 值得一提的是 , 国产芯片在光刻胶领域成功破冰 , 自主攻克了重要芯片材料——光敏聚酰亚胺光刻胶 。
根据光明日报消息报道 , 我国科研人员滕超教授及其团队在2015年定下研究计划 , 瞄准光电显示和半导体领域所需的光刻胶技术展开破冰 。 由于大量的核心技术掌握在日本手中 , 可参考的资料并不多 , 所以从一开始滕超就面临重重困难 。 包括在进行LCD间隔物微球项目时 , 遇上了课题组人员短缺 , 很多重要的实验数据需要滕超反复验证 , 不论大小事务几乎都是亲力亲为 。
甚至为了更好地做实验 , 在办公室住了一年之久 。 功夫不负有心人 , 滕超经过7年的刻苦研发 , 在自研设计算法 , 修正测试数据以及大量实验论证中 , 终于完成了最后一步的突破 。
2022年6月份 , 滕超成功研制出光敏聚酰亚胺光刻胶 。 这是一种新型光刻胶材料 , 光敏聚酰亚胺光刻胶不仅能满足光刻作用 , 而且在介电领域也是很好的材料 。
主要优势体现在缩短工序时间 , 提高生产效率 , 为国产芯片产业链的发展提供更多的自主性保证 , 甚至技术水平已经赶超美日 。 同类产品中 , 光敏聚酰亚胺光刻胶发挥出的性能不弱于国外产品 。
国产光刻胶处于什么水平?芯片种类繁多 , 每一种芯片在制造过程中 , 几乎都会经历光刻工艺 。 也就是通过光刻机 , 把设计好的芯片线路图曝光在涂抹光刻胶的晶圆表面 。 根据芯片制造工艺以及种类的不同 , 所需要用上的光刻胶品类也非常丰富 。
主流的光刻胶产品就包括浸没式光刻胶 , KrF正负型光刻胶以及ArF光刻胶等等 。 日本在光刻胶领域起步较早 , 积累了大量的核心技术 , 形成了完备的知识专利产权 , 所以想要打破垄断是需要时间的 。
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