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也许你在用的电脑 , 所用芯片的工艺还是14纳米 , 但是现在的芯片制造工艺 , 已经推进到了3纳米 。
而且 , 芯片工艺的推进速度 , 还没有看到减慢的迹象 , 例如台积电近日就宣布 , 其3纳米研发团队 , 开始向1.4纳米进发 。
制造工艺这么先进的芯片 , 离不开精良的设备 , 也就是EUV光刻机 , 正如大家所了解的 , 我们还无法进口这款设备 。
因此即使是5纳米芯片 , 大陆中企晶圆厂也无法进行实验性的量产 。
很显然 , 如果要打破这样的局面 , 基本就是两个办法 。
第一个 , 寄希望ASML可以获得授权 , 开放向我们供货 , 但是这个选择就显得太被动了 , 如果迟迟不开放 , 那岂不是我们永远都无法制造先进工艺的芯片了 。
所以第二种办法更靠谱一些 , 也就是自主研发 。
相信有的朋友还记得 , 在2020年的时候 , 中科院院长白崇礼曾经表示 , 将会解决一批卡脖子的问题 , 其中光刻机就赫然在列 , 当然 , 这里指的就是EUV光刻机 。
当时不禁有网友表示 , ASML研发EUV相关的技术有二十多年历史 , 我们则刚宣布要解决这个问题 , 是不是有点不太现实了 。
那么真的如此吗?其实不然 。
实际上 , 中科院早就开始了在EUV方面的技术研发 , 而ASML方面其实也传出消息 , EUV光刻机的“大门”正在向中企打开了 , 结局已经基本清晰了 。
可能很多朋友不知道 , 在某个科技领域要计划实现突破 , 甚至国产替代 , 不是马上组织实施 , 给资金、给团队、给资源等就可以解决的 , 这需要很多的积累 , 其中非常重要的就是专利积累 。
这是因为 , 如果你没有申请到足够的专利 , 那么在以后的设备研发上 , 很可能你就会侵权 。
ASML在光刻机领域已经很强大了吧 , 但是ASML依然需要在专利方面深耕 , 例如在2019年 , ASML就向尼康支付了1.5亿欧元的专利诉讼和解费用 。
在更早的2007年 , ASML还与佳能进行了专利方面的交叉授权 。
因此如果没有一定的专利积累 , 将会很难在这个领域立足 。
而我们发现 , 中科院早在2002年就开始研发EUV方面的技术 , 并且已经申请了专利 。
可以看到 , 在2002年6月24日 , 中科院光电院就申请了一项“自适应全反射极紫外投影光刻物镜”的专利 。
在专利的摘要解析当中明确指出 , 该专利技术用于EUV光刻机当中 。
但中科院的努力可不止这些 , 除了上面我们谈到的中科院光电院 , 还有中科院长光所、上光所、微电子所和高能物理研究所等 。
其中已经申请的EUV专利上百项 , 就在今年的三月份 , 则刚刚公开了一项新的EUV专利 , 申请方为中科院上光所 。
由此可见 , 在白院长2020年宣布要解决卡脖子的EUV光刻机时 , 其实中科院方面早就努力了至少18年的时间 。
很显然 , 多年的专利积累 , 已经为我们实现EUV光刻机走向量产 , 做好了一条护城河 。
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