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光刻机是生产制造芯片的必要设备 , 在光刻机领域内 , 技术最先进的厂商是ASML , 其生产制造的光刻机主要用于生产制造28nm等以下制程的芯片 。
其中 , DUV光刻机主要生产制造28nm到7nm制程的芯片 , 而EUV光刻机主要生产制造7nm及以下制程的芯片 。
由于瓦森纳协议 , ASML的EUV光刻机不能自由出货 。 芯片等规则被修改后 , ASML的EUV光刻机出货到外企中国分厂也受到了约束 。
即便是DUV光刻机 , 一般情况下是可以正常出货的 , 但在美生产制造的DUV光刻机出货 , 则需要许可 。
尽管在出货方面受到了约束 , 但ASML却没有什么明显的动作 , 就是发声表态将会向国内厂商提供其能够提供的一切技术 , 对全球厂商都一视同仁 。
另外 , ASML还表示限制出货不会有好处 , 只会加速其它厂商在技术上进行突破 , 实质性不大 。
但到了2022年后半年 , 情况就发生了变化 , 美对ASML进行新的游说 , 希望其收紧国际主流光刻机的出货范围 , 实际就是DUV光刻机的出货范围 。
结果ASML却给出了明确的表态 , 称限制出货会导致半导体产业链中断 , 要意识到国内厂商在芯片半导体领域内的重要性 , 无论是成熟工艺还是先进工艺 。
可以说 , ASML这番表态与以往极为不同 , 承认了国内厂商在半导体芯片产业链的重要地位 。
面对ASML这样的表态 , 就有外媒表示拿到78光刻机订单后 , ASML开始变味了 , 之前的表态可不是这样的 。
消息称 , 近来ASML向国内市场大量出货DUV光刻机等设备 , 数量高达78台 , 仅今年第一季度就向国内厂商出货23台 , 国内市场也超越美国市场成为ASML第三大市场 。
其实 , ASML做出上述表态 , 并非夸大其词 , 而是有理有据的 。
【光刻机|拿到78台光刻机订单后,ASML开始变味了】例如 , ASML在供应链方面已经受到了影响 , 其20%的氖气供应受到了影响 , 这直接影响了DUV光刻机等设备的生产制造 , 可能会导致未来两年出现光刻机短缺的情况 。
另外 , 由于缺芯已经影响到了光刻机设备供应商 , 导致这些供应商无法正常供应商 , 也影响了光刻机的生产制造 。
要知道 , 由于半导体设备厂商无法正常供货 , 台积电都主动提高价格 , 就是希望设备厂商可以尽快出货 , 可见缺芯的影响有多大 。
但是 , 国内厂商能够向ASML提供其所需要的氖气 , 同时 , 国内厂商月产集成电路的数量超过了300亿片 。
也就是说 , 在ASML面临的问题 , 国内厂商能够解决一部分 , 缓解光刻机的生产压力 。
其次 , ASML态度强硬 , 也是因为国内市场已经成为ASML第三大市场 , 这还是在不能自由出货的情况下 , 毕竟 , 国内厂商对EUV光刻机的需求也是很大的 。
另外 , 国内芯片企业数量快速增长 , 全球每新增20家芯片企业 , 其中19家都来自国内 , 这些企业主要从事芯片研发、制造等 。
再加上 , 国内厂商正在不断提升芯片产能 , 仅中芯一家厂商就投资1000亿元扩产 , 这意味国内厂商对光刻机的需求将会持续增加 。
更何况 , 国产光刻机技术进步很快 , 多项技术都实现了突破 , 先进光刻机可以说是指日可待 , ASML又不愿意失去国内市场 , 自然要尽可能的出货 , 不想被约束 。
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