MEMS是Micro-Electro-MechanicalSystem的缩写，中文名称是微机电系统 。MEMS芯片简而言之，就是用半导体技术在硅片上制造电子机械系统，再形象一点说就是做一个微米纳MEMS 是 Micro-Electro-Mechanical System 的缩写，中文名称是微机电系统 。MEMS芯片简而言之，就是用半导体技术在硅片上制造电子机械系统，再形象一点说就是做一个微米纳米级的机械系统，这个机械系统可以把外界的物理、化学信号转换成电信号 。这类芯片做出来可以干嘛?最常用的是承担传感功能 。在整个大的信息系统里有点类似于人的感官系统，例如 MEMS 麦克风芯片相当于人的耳朵 ， 可以感知声音;MEMS 扬声器芯片相当于人的嘴巴，可以发出声音;MEMS 加速度计、陀螺仪、磁传感器芯片相当于人的小脑，可以感知方向和速度;MEMS 压力芯片相当于人的皮肤，可以感知压力;MEMS 化学传感器相当于人的鼻腔，可以感知味道和温湿度 。没有 MEMS 芯片的人工智能和万物互联，就相当于没有感官器官的人 。
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MEMS 被认为是 21 世纪最有前途的技术之一，如果半导体微制造被视为第一次微制造革命 ， MEMS 则是第二次革命 。通过结合硅基微电子技术和微机械加工技术，MEMS 具有革命性的工业和消费产品的潜力 。
【MEMS的定义及其分类 mems芯片是什么意思】在此需要划重点的是，MEMS 是一种制造技术，诸如杠杆、齿轮、活塞、发动机甚至蒸汽机都是由 MEMS 制造的 。事实上，MEMS 这个词实际上有一定误导，因为许多微机械设备在任何意义上都不是机械的 。然而 ， MEMS 又不仅仅是关于机械部件的微型化或用硅制造东西，它是是一种利用批量制造技术设计、创建复杂机械设备和系统及其集成电子设备的范例 。再具化一点讲，集成电路的设计是为了利用硅的电学特性 ， 而 MEMS 则利用硅的机械特性，或者说利用硅的电学和机械特性 。
那 MEMS 传感器又是什么?MEMS 传感器就是把一颗 MEMS 芯片和一颗专用集成电路芯片(ASIC 芯片)封装在一块后形成的器件 。左图是一张典型的 MEMS 麦克风内部构造的放大图，图内右边的芯片是 MEMS 芯片 ， 左边的芯片是 ASIC 芯片 。右图是封装后的 MEMS 麦克风 。
MEMS 传感器里最重要的就是 MEMS 芯片 。MEMS 芯片可以把外界的物理、化学信号转换成电信号，而 ASIC 是把 MEMS 芯片产生的电信号进一步处理和传输到下一级电路 。没有 MEMS 芯片，MEMS 传感器就是一个没有灵魂的空壳 。
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